MS 시리즈는 직결형 오일로터리 진공펌프이다. 펌프 구조는 아래 단면도에서 보는 바와 같이 펌프실린더 그리고 펌프보호를 위한 역류방지 밸브가 있으며 펌프 하우징과 실린더안에서 편심되어 있는 로터, 베인, 배기 밸브 등…