오일 로타리 진공펌프
- 직결 베인형 오일 로타리 펌프
직결 베인형 오일 로타리 펌프
진공펌프 1STAGE (MS720AS, MS960AS, MS1200AS) 상세정보
- - 배기량(60Hz) : 10000 ~20000 ℓ/min
- - 도달진공도 : 1 Stage : 4 x 10-2 Torr
2 Stage : 5 x 10-4 Torr
MS시리즈는 직결형 오일로터리 진공펌프이다.
사용범위는 실험실에서부터 산업용 진공 산업까지 광범위하게 사용할 수 있도록 설계되었다.
펌프 구조는 아래 단면도에서 보는 바와 같이 펌프실린더, 로터, 베인, 배기밸브와 각 부품으로 구성되어 있다.
MS 시리즈 진공펌프의 작동원리는 실린더와 편심되어 있는 로터가 회전하면 흡입과 배기가 순차적으로 진행하도록 하는 원리이다. 모터의 회전 동력은 플렉시블 커플링에 의해 펌프로 전달되어 모터가 회전함에 따라 펌프도 회전한다.
로터가 회전하면 로터의 홈 안에 있는 두개의 베인이 원심력과 오일압력에 의해 실린더 내면에 슬라이딩하며 회전한다.
흡입구 여과망을 통과하여 흡입된 가스는 펌프 실린더 내로 유입된다. 회전 운동을 하고 있는 베인은 흡입구 관로를 지나가면 가스는 두개의 베인 사이에 갇혀서 배기구에 있는 배기밸브 방향으로 회전되어 진다.
앞쪽의 베인이 배기관을 지나면서 가스는 압축되기 시작하여 충분히 압축된 가스는 배기밸브를 열고 배기라인을 통하여 배기된다. 실린더 내면과 베인, 로터의 베인홈과 베인, 베어링, 슬라이딩되는 모든 부위의 윤활과 기밀을 위해 오일을 실린더에 공급하여 준다.
펌프의 특징 & 장점
⦁ 오일여과용 필터와 오일 압력계가 장착 되어었다.
오일필터에 의해 이물질을 거른 오일을 펌프 내부로 공급하며, 필터압력계를
보면 필터의 교환 시점을 알 수 있다.
⦁ 호환성이 높다.
1단형 펌프와 2단형 펌프는 호환이 가능하도록 제작되었다.
⦁ 오일 공급량을 자동 제어한다.
실린더 내의 진공압력에 따른 오일 공급량을 적절하게 제어해 준다.
⦁ 유수분리가 용이하도록 설계되었다.
케이싱과 연결되어 있는 익스텐션 커버의 내부는 적절한 공간을 확보하고 가동 중에도
오일의 흐름을 최소화 하여 오일과 수분의 분리가 용이하도록 하였다.
⦁ 취급이 간편하고 분해 점검이 용이하다.
케이싱 내부의 세정을 용이하도록 펌프측면과 상단에 다수의 커버를 설치하여 누구나
쉽게 분해, 세정할 수 있도록 하였다.
⦁ ISO 규격의 모터 플렌지 적용
ISO 플렌지의 규격모터를 사용함으로써 어느곳에서나 그리고 누구나 모터 교체가
용이하도록 하였다.
⦁ 오일 미스트 트랩의 장착이 용이함 - 선택사양
오일 미스트 트랩을 장착하면 오일의 소모량이 적고 유연발생과 소음을 줄일 수 있다.
⦁ 가스발라스트 밸브의 장착이 가능함 - 선택사양
수분의 응축을 줄이기 위해 가스 발라스트 밸브를 장착할 수 있다.
⦁ 오일순환 안전장치가 장착 되어 있다.
오일 필터가 막히면 오일 안전장치가 자동으로 작동되어 거르지 않은 오일을 윤활부에
즉시 공급한다.
