메카니컬 부스터 펌프
- 대기압 기동형 부스터 펌프
대기압 기동형 부스터 펌프
부스터펌프(BM12A,BM24A) 상세정보
- - 배기량(60Hz) : 1200 ~ 2800 m3/hr
- - 도달진공도 : 5 x 10-4 Torr
메카니컬부스터펌프(대기압 기동형 BM Series:BM12A,BM24A)은 Casing 내에 있는 2개의 땅콩 모양의 Rotor가 Shaft에 고정되어 있는 Timing gear에 의해 서로 반대 방향으로 같은 주기로 회전하도록 하였다.
흡입라인에 유입된 기체는 Casing과 Rotor 사이의 공간에서 밀폐되어 있다가 Rotor의 회전으로 배기라인으로 배출되면 이것을 1차 펌프가 대기중으로 방출시킨다.
Rotor와 Rotor, Rotor와 Casing은 매주 작은 간격(0.1~0.6mm)을 유지하며 회전하기 때문에 실린더 내부 및 Rotor에는 윤활유가 필요없다.
따라서 깨끗한 진공 배기가 가능하다.
또한 Rotor는 고속회전(Max. 3500rpm)하면서도 Casing과 마찰이 없으므로 마모가 없어 반 영구적인다.
특히 재질은 고강도, 고순도의 알루미늄 합금을 사용하였으며 표면의 부식성과 강도를 더욱 향상시키기 위해 표면처리를 하도록 하였다.
Mechanical seal은 특수 재질의 카본과 특수 재지의 솔리드를 사용하여 추후 사용여건에 따른 마모가 동반하여도 계속해서 사용가능 하도록 하였다.
메카니컬부스터펌프(대기압 기동형 BM Series:BM12A,BM24A)은 모터와 펌프의 연결을 마그네틱 커플러를 사용하여 대기압에서부터 부스터 펌프를 사용할 수 있고, 모터의 부하를 줄여 안정적으로 사용할 수 있도록 하였다.
안정된 성능
Casing 내에는 윤활유가 없기 때문에 수증기, 용제 등의 증기에 대해서도 안정된 성능을 얻을 수 있다.
내부식성에 강하다.
가스부위와 접하는 표면은 강성이 높고 내부식성이 강한 표면 처리를 하였다.
배기시간이 단축된다.
진공펌프의 시스템 진공 도달 시간을 단축하고 대기압 기동형은 1차 펌프와 동시에 작동함으로써 배기시간을 매우 단축시킨다.
ISO 모터 규격의 플랜지를 사용
BM-A형과 B-A형은 대기압 기동형식과 비대기압 기동방식의 차이이며 간단히 카풀링 교체만으로 동시에 사용이 가능하도록 하였다.
높은 정밀도의 높은 강성 기어를 사용하였다.
높은 강성 기어를 사용함으로써 고속회전에서도 소음과 진동이 매주 작도록 하였다.
Solid Disk 적용의 Mechanical Seal
Mechanical Seal은 높은 강도의 Solid Disk를 사용하여 내마모성과 내구성을 크게 향상시켰다.
흡입라인의 방향을 다양하게 하였다.
BM 12A, BM 24A는 흡입구 방향을 수평형(H)과 수직형(V)으로 사용이 가능하도록 하였다.
•13Pa(1.0×10-1Torr)에서 유효배기속도 측정 (Displacement exhaust speed measurement in 13Pa(1.0×10-1Torr)
•도달압력은 냉음극전리 진공계를 사용하여 측정한 값이며 피라니진공계 사용 시 4.0×10-1Pa(3×10-3Torr)을 유지함
(Because Arrival pressure makes use of cold negative pole ionization vacuum gauge is value that measure and keeps 4.0×10-1Pa(3×10-3Torr)at pirani vacuum gauge use)
•상기값은 표준보조펌프 적용 시 측정된 값이며, 보조펌프의 성능에 따라 측정값은 가변됨(Ultimate pressure is value measured at standard assistance pump application, and measurement value is variable by assistance pump performance)
