드라이 펌프

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• - 배기량(60Hz) : 125~270㎥/hr
• - 도달진공도 : 6.75×10⁻¹

드라이펌프(스크류형 SES series:SES120,SES180,SES330,SES500.SES700)는 screw Type의
single stage vacuum pumping system입니다.
최적의 가스흐름을 고려한 스크류를 제작하였고, 펌프에서 발생되는 열을 펌프의 몸체 위치에 따라 5구분을 하여 고온공정과 저온공정 사용시 적절한 냉각방식이 가능하도록 하였습니다.
또한 소음을 최소화하기 위해 기어의 기능을 높였습니다.
사용배기용량에 따라 부스터 펌프를 조합하도록 하였습니다.

• 1.효율적인 배기를 위한 1단형 배기적용
  2.회전방향의 위성변화가 없는 축과 스크류를 일체로 하였습니다.
  3.펌프냉각부위를 5구간으로 나누어 필요에 따라 구간별 냉각이 가능하도록 하였습니다.
  4.다양한 모터적용이 가능합니다.
  5.배기에 따른 가스마찰이 많은 부위는 내부식성의 재질을 사용하였습니다.
  6.정숙한 작동으로 소음과 진동이 작습니다.
  7.고온에서 운전이 가능합니다.
  8.온도 조정 컨트롤이 가능합니다.
  
  
  적용
  Semi conductor Equipment
  LCD Equipment
  PVD & Evaporation & Heat Treatment process
  CVD & Etching
  ETC

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