진공게이지
- Pirani Gauge (VSPI-3002)
Pirani Gauge (VSPI-3002)
피라니게이지(Pirani Gauge VSPI-3002) 상세정보
- - 배기량(60Hz) :
- - 도달진공도 :
모델명 : VSPI-3002
측정범위 : 10 ~ 0.001 Torr
(10 ~ 1x10-3 Torr)
* Pirani gauge의 원리는 진공챔버에 설치되어 있는 센서의 필라멘트에 정전압을 공급하면 진공도의 변화에 따라 저항값이 변화하여 센서에 흐르는 전류의 변화치를 진공도로 환산하여 표시하는 방식입니다.
* 10bit AD 컨버터를 사용하여 센서에 대한 정밀도를 향상 시켰습니다.
* 센서 필라멘트를 금으로 코팅하여 내부부식과 산화성을 향상 시켰습니다.
* SMPS 파워 서플라이 타입으로 전압 안정성 및 신뢰성을 향상 시켰습니다.
* FND 디스플레이 타입으로 외관이 단아하고, Analog output DC 0~5V 를 추가 하였습니다.
