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카본베인용 드라이 펌프

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    BCD Series
    • - 배기량(60Hz) : 280 ~ 1350 ℓ/min
    • - 도달진공도 : 110 ~ 150 Torr

    드라이펌프(카본베인형 BCD Series :BCD3A,BCD5A)는 원형케이싱 및 로터 4개의 베인으로 구성되어 있으며 로터는 케이싱과 편심한 위치에 취부되어 있습니다. 작동원리는 BOP형과 동일하나 베인…