오일 확산펌프
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DP Series
- - 배기량(60Hz) :
- - 도달진공도 :
공냉식확산펌프(DP2B,DP3B)는 확산오일을 사용하여 일정진공도(0.05Torr)이하에서 가열하여 n단이상의 노즐을 통해 음속이하로 Body 외벽을 통해 분사함으로서 가스입자에게 운동에너지를 전달…
공냉식확산펌프(DP2B,DP3B)는 확산오일을 사용하여 일정진공도(0.05Torr)이하에서 가열하여 n단이상의 노즐을 통해 음속이하로 Body 외벽을 통해 분사함으로서 가스입자에게 운동에너지를 전달…