스크롤형 드라이 펌프
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ISP Series
- - 배기량(60Hz) :
- - 도달진공도 :
드라이펌프(스크롤형 ISP Series :ISP90,ISP250B,ISP500B)는 No.1~4까지의 그림에서 보듯 회전식 스크롤이 회전함에 따라 초생달 모양의 가스포켓이 점점 작아지며,마지막 단계에서 가스는 가운데 포…
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DVSL Series
- - 배기량(60Hz) :
- - 도달진공도 :
드라이펌프(스크롤형 DVSL Series:DVSL-500B)는 No.1~4까지의 그림에서 보듯이 회전식 스크롤이 회전함에 따라 초생달 모양의 가스포켓이 점점 작아지며,마지막 단계에서 가스는 가운데 포트로 배…
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BSP Series
- - 배기량(60Hz) :
- - 도달진공도 :
드라이펌프(스크롤형 BSP Series :BST300,BSP600)는 ISP 250/500 series를 기반으로 하여 케이스화된 스크롤 드라이펌프로서 조작판넬을 통한 펌프의 조작과, 기본 내장된 게이지를 통하여 진공도를 …