오일 로타리 진공펌프

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• - 배기량(60Hz) : 100~650ℓ/min
• - 도달진공도 : 5 x 10-4 Torr

MS 시리즈는 직결형 오일로터리 진공펌프이다.
펌프 구조는 아래 단면도에서 보는 바와 같이 펌프실린더 그리고
펌프보호를 위한 역류방지 밸브가 있으며 펌프 하우징과
실린더안에서 편심되어 있는 로터, 베인, 배기 밸브 등 그외 다수
구성품으로 구성되어 있다.
MS 시리즈 진공펌프의 작동원리는 실린더와 편심되어 있는 로터가
회전하면 흡입과 배기가 순차적으로 진행하도록 하는 원리이다.
모터의 회전 동력은 플렉시블 커플링에 의해 펌프로 전달되어
모터가 회전함에 따라 펌프도 회전한다.
로터가 회전하면 로터의 홈 안에 있는 두개의 베인이 원심력과
오일압력에 의해 실린더 내면에 슬라이딩하며 회전한다.
흡입구를 통과하여 흡입된 가스는 펌프 실린더 내로 유입된다.
회전 운동을 하고 있는 베인은 흡입구 관로를 지나가면 가스는
두개의 베인 사이에 갇혀서 배기구에 있는 배기밸브 방향으로 회전
되어 진다.
앞쪽의 베인이 배기구멍을 지나면서 가스는 압축되기 시작하여
충분히 압축된가스는 배기 밸브를 열고 배기구를 통하여 배기되며
실린더의 내면과 베인, 로터의 베인홈과 베인, 기타운동되는 부위에
윤활과 기밀유지를 위해 오일을 공급해준다.

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