오일 로타리 진공펌프
- - 배기량(60Hz) : 1500 ~ 15000 ℓ/min
- - 도달진공도 : 5 x 10-3 Torr
오일로타리진공펌프(벨트피스톤형:BSR1.5K,BSR2.5K,BSR4.5K,BSR7.5K,BSR15K)는 그림(A) 같이 실린더내에 편심되어 있는 로터와 피스톤 슬라이드핀 배기밸브 및 앞뒤의 카바로 이루어져
있습니다. 동작원리는 (B)와 같습니다.
로터가 회전하면 흡입구를 통해 실린더 내로 기체가 흡입됩니다. 그림(4)까지 계속되어(4)를 지나면서
압축되기 시작합니다. 완전히 압축되면(약850Torr이상이되면) 배기밸브를 통하여 배출됩니다.
a) 우수한 진공도를 보장
b) 간단한 구조와 호환성이 양호
c) 내구성이 크다
d) 동일 배기량의 타 펌프에 비해 크기, 소음, 진고잉 적다.
e) 유지 관리가 쉽다
f) 지속적인 출고 제품관리로 사후 봉사를 받을 수 있다.