메카니컬 부스터 펌프
- 비대기압 기동형 부스터 펌프
비대기압 기동형 부스터 펌프
부스터펌프(B55A) 상세정보
- - 배기량(60Hz) : 5600 ~ 7000 m3/hr
- - 도달진공도 : 5 x 10-4 Torr
메카니컬부스터펌프(비대기압 직결기동형 B Series: B55A, B70A)는 Casing 내에 있는 2개의 땅콩 모양의 Rotor가 Shaft에 고정되어 있는 Timing gear에 의해 서로 반대 방향으로 같은 주기로 회전하도록 하였다.
흡입라인에 유입된 기체는 Casing과 Rotor 사이의 공간에서 밀폐되어 있다가 Rotor의 회전으로 배기라인으로 배출되면 이것을 1차 펌프가 대기중으로 방출시킨다.
Rotor와 Rotor, Rotor와 Casing은 매주 작은 간격을 유지하며 회전하기 때문에 실린더 내부 및 Rotor에는 윤활유가 필요없다.
따라서 깨끗한 진공 배기가 가능하다.
또한 Rotor는 고속회전(Max. 3500rpm)하면서도 Casing과 마찰이 없으므로 마모가 없어 반 영구적인다.
특히 재질은 고강도, 고순도의 알루미늄 합금을 사용하였으며 표면의 부식성과 강도를 더욱 향상시키기 위해 표면처리를 하도록 하였다.
Mechanical seal은 특수 재질의 카본과 특수 재지의 솔리드를 사용하여 추후 사용여건에 따른 마모가 동반하여도 계속해서 사용가능 하도록 하였다.
메카니컬부스터펌프(비대기압 직결기동형 B Series: B55A, B70A)는 모터와 펌프의 연결을 직결식 커플러를 사용하여 70 ~ 5 Torr 사이에서 부스터 펌프를 사용할 수 있다.
⦁ 업계최대용량
고진공 펌프로써 업계최대용량의 직결구동형식이다.
⦁ 소형, 경량화된 구조
고용량 대비 고속회전수(3600rpm) 의 소형화된 형식으로써 설치 및 관리면적이 매우
적게 소요된다.
또한, 알루미늄 합금재질로 구성되어 취급이 간편하다.
⦁ 안정된 성능
케이싱 내에는 윤활류가 없기 때문에 수증기, 용제 등의 증기에 대해서도 안정된 성능을
얻을 수 있다.
⦁ 냉각수 열교환량 극대화
본체에 직접 워터자켓을 형성하여 냉각수를 순환하므로 냉각효과가 뛰어나다.
⦁ 고진공 안정성
높은 정밀도의 제작기술로써 고속회전체의 미세간극을 유지하여 안정된 성능에
도달할 수 있다.
⦁ 윤활유량 및 오염도 가시장치
각 윤활실에 가시창(Sight glass)를 설치하여 윤활유량 및 오염도 적정성을 판단할 수 있다.
⦁ 신속한 초기 배기구조
보조펌프 저진공 배기 시 진공실(Process Area) 및 윤활실(Lubrication Area)이 관로 장애
없이 신속하게 배기되어 규정 진공상태로 도달할 수 있다.
⦁ 인버터 제어 - 선택사양
모터 기동을 인버터로 제어함으로써 회전수 가변을 통하여 최상의 가동성능을 유지하고
펌프부하를 줄이도록 한다.
⦁ 윤활실 별도배기 시스템 - 선택사양
진공실(Process Area)과 윤활실(Lubrication Area)을 별도 배기하여 오염을 차단할 수 있다.
⦁ 내부식성이 우수하다.
가스부위와 접하는 표면은 강성이 높고, 내부식성이 우수한 표면처리를 하였다.
⦁ ISO 규격의 모터 플렌지 적용
ISO 플렌지의 규격모터를 사용함으로써 어느곳에서나 그리고 누구나 모터 교체가
용이하도록 하였다.
⦁ 높은 정밀도의 강성기어를 사용하였다.
높은강성의 기어를 사용함으로써 고속회전에도 소음과 진동이 매우적다.
⦁ 일체형 소재의 메카니칼 씰 적용
높은 강도의 일체형 소재를 적용한 메카니칼 씰은 내마모성과 내구성이 매우 높다.
