진공 시스템

• - 배기량(60Hz) :
• - 도달진공도 :

본 진공장비(진공시스템)는 주로 금속 또는 금속산화물을 가열 증발시켜서 유리 또는 수지계(아크릴류)에 증착시켜서
완전밀러, 반 투과 밀러, AR Coating등 을 통해서 핸드폰 윈도우(표시창), 전자제품 명판(표시창),
비디오폰 표시창 및 전자제품에 사용되는 무 반사, 무 정전, 전자파 차폐 기능을 하는 기능성 박막
Coating을 하는 전자동 진공 증착 장치이다.

• 1) 낮은 도달압력과 빠른 배기시간
  초기 장입공정에서부터 고진공 환경을 만들고 좋은 품질의 생산을 위해 Turbo Pump 1대를
  장착
  하였고 , 공정에서는 Turbo Pump X 2대를 사용하여 배기 시간을 단축시켰고
  탈착 공정 또한 ( Turbo Pump 1대
  ) 장입공정과 같은 환경을 만들었다,
  이러한 이유는 초기의 제품 장입 환경, 공정, 탈착. 의 모든 조건이 동일한 환경에서의
  증착이
  적합하므로 위와 같은 방법의 시스템을 선정 하였다.
  
  2) 간편한 조작성
  각종 부품을 소형화, 종합화하여 점유성 면적을 최소로
  할 수 있는 뿐만 아니라
  전면 Touch Screen 상에서 의 모든 Date 입력 및 조작 제어를 용이하게 제작
  되어
  있습니다.
  
  3) 증착계의 전자동 제어
  전면 판넬에서 증착 제어기를 통하여 증착의 모든 과정이 특히 DC POWER
  의 전원 공급 및 증착의
  시작 및 종료 등 모든 과정이 PLC 을 통하여 자동으로 행하여짐.
  
  4) 신속한 보수점검
  *
  표준화와 양산화에 의한 신뢰성의 향상으로 손쉽게 보수가 용이합니다.
  * 회전 단자와 당사 표준부품 중에서 목적에 따라 자유롭게 기구를
  탈착할 수 있음.
  * 전기계의 종합화로 배선은 콘넥터의 접속으로 되어 있고, 오배선을 방지할 뿐만
  아니라 만일 고장이 있을 경우에도
  각 부분의 발견도 용이하고 신속한 교환이 가능함.
  
  5) 안전대책 마련
  * 단수시 및 유확산 펌프의 작업온도 상승하면 히타 회로
  전원차단 및 경보음 울림.
  * 정전시 배기계의 전 밸브가 닫히고 오일 로타리 펌프의 Leak Valve가 자동으로 열림.
  * 각
  밸브의 개폐시 조건 확인 후 작동 때문에 PLC상에서 수초의 지연을 주고 있음.

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